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气动隔膜泵
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产品简介

特性:

  • 专为半导体行业设计

  • 非金属,流体通道内无O型圈

  • 渗流设计

  • 无金属固定件,如拉杆或支架

  • 有集成脉动均衡器可选

  • 100级净室内组装

技术数据:

  • 机加工的塑料设计,有聚乙烯(PE)和聚四氟乙烯(PTFE)两种材质

  • 优化的聚四氟乙烯(PTFE)隔膜技术

  • 五种尺寸:从10mm(3/8")到38mm(1-1/2")

  • NPT接口

  • **耐受温度:200° C(390°F)

  • 精确的流体输送

性能数据:

  • **流量:200lpm(52gpm)

  • **吸程:干吸4m(13.1'),湿吸9m(29.5')


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